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    在半导体制造中,塑料已成为提升晶圆良率与洁净度的关键材料。其应用贯穿多个重要环节:PEEK等材料制成的CMP固定障抛光平整;晶圆载具和光罩盒需依赖其抗静电、低析出特性以保护晶圆;处理

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    在整个半导体制造过程中,塑料的作用主要是包装和传送,衔接着一个个生产步骤。因此包装传送过程中减少污染和损坏是提升半导体质量的重要方法之一。随着对于材料的性能要求提高,防静电PVC、P

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